晶圓電鑄模版加工流程
發布日期:2025-08-29

晶圓電鑄模板加工核心流程
原模設計與制備
晶圓電鑄模板加工需以高精度母模為基礎,采用金屬(如鎳、銅)或工程塑料制作與原圖對應的凹陷/凸起結構,確保尺寸誤差達微米級。對于非金屬母模(如硅晶圓),需通過化學鍍銅或噴涂金屬層實現表面導電化處理。
電解沉積與成型
將導電化母模作為陰極,浸入鎳基電解液中,通直流電使金屬離子在晶圓電鑄模板表面均勻沉積,鑄層厚度范圍一般為20~250μm。通過真空誘導技術或優化電流密度,可提升鍍層均勻性和致密性,滿足半導體晶圓加工對極窄線寬和微孔精度的需求。
脫模與后處理
沉積完成后,通過機械剝離或溶解母模獲得獨立金屬殼體,隨后進行清洗、去除雜質、熱處理等后處理。最終晶圓電鑄模板硬度可達500~560 Hv,并支持01005、CSP等微型元件的高精度印刷需求。
晶圓電鑄模板加工廠特性
專業化技術能力:頭部晶圓電鑄模板加工廠(如卓力達)擁有自主研發團隊及納米級復制工藝,可兼容8英寸和12英寸晶圓產線,同時采用無氰電解液等環保技術。
設備與認證:具備全自動電解槽、高精度檢測儀器,并通過ISO 9001/TS 16949等質量體系認證,確保晶圓電鑄模板的穩定交付。
應用領域:產品廣泛應用于SMT貼裝、半導體封裝等場景,尤其在晶圓級微孔濾網和先進封裝領域需求顯著。
晶圓電鑄模板加工通過電解沉積實現微米級結構復制,其加工廠的競爭力體現在精密工藝控制與快速響應能力。典型企業如卓力達依托電鑄技術研發積累,已為全球半導體產業鏈提供高可靠性解決方案。
